Pulēšanas spilventiņi ir galvenie piederumi, kas nosaka vafeļu virsmas kvalitāti ķīmiskās mehāniskās pulēšanas (CMP) procesā. Tie galvenokārt sastāv no tādiem materiāliem kā poliuretāna putas, kam ir poraina mikrostruktūra un augsta nodilumizturība. Tās pamatfunkcijās ietilpst vienmērīga spiediena pārnešana, pulēšanas šķidruma uzglabāšana un reakcijas atlikumu noņemšana. Pielāgojot cietību, var attiecīgi optimizēt vafeles in-veidnes viendabīgumu (WID) un in-čipu viendabīgumu. Rievu raksta dizains tieši ietekmē pulēšanas šķidruma sadales efektivitāti. Radiālā rieva uzlabo materiāla noņemšanas ātrumu, savukārt gredzena rieva optimizē virsmas apdari.
Pulēšanas paliktņa veiktspēju nosaka 7 galvenie rādītāji:
1.Blīvums: Ietekmē deformācijas pakāpi
2. Cietība: regulējiet slīpēšanas efektivitāti
3.Biezums: nosaka spiediena vienmērīgumu
4. Groove raksts: optimizē šķidruma sadalījumu
5.Groove parametri: platums/dziļums ietekmē uzglabāšanas jaudu
6. Ārējā diametra specifikācijas: jāpielāgo iekārtas izmēram
Poliuretāna pulēšanas paliktņa sastāvs un struktūra
Poliuretāna pulēšanas paliktņos kā galvenais materiāls parasti tiek izmantots augstas veiktspējas{0}}poliuretāns. Poliuretāns ir augstas molekulārās polimēra veids ar labu elastību, nodilumizturību un ķīmisko stabilitāti.
Tā struktūra parasti ietver pulēšanas slāni un pamatslāni. Pulēšanas slānis ir tiešā saskarē ar pulēto materiālu, un tam ir jābūt atbilstošām cietības, raupjuma un porainības īpašībām, lai panāktu efektīvu pulēšanas efektu; atbalsta slānis galvenokārt atbalsta un nostiprina pulēšanas slāni, vienlaikus palīdzot pārnest pulēšanas spiedienu un uzturēt pulēšanas paliktņa vispārējo stabilitāti.
Poliuretāna pulēšanas paliktņu veiktspējas raksturlielumi
Augsta elastība: tā var labāk pielāgoties pulētā objekta virsmai, un pat sarežģītas izliektas virsmas var vienmērīgi pulēt, samazinot vietējo spiedienu, kas ir pārāk liels vai pārāk mazs CMP pulēšanas procesa laikā, tādējādi uzlabojot pulēšanas kvalitāti.
Augsta nodilumizturība: ilgstošas -pulēšanas procesa laikā tas var saglabāt savu formu un veiktspēju, un to nav viegli nolietot, kas pagarina pulēšanas paliktņa kalpošanas laiku un samazina lietošanas izmaksas.
Augsts līdzenums: tas var nodrošināt pulētas virsmas līdzenumu, kas ir būtisks augstas -precizitātes optisko komponentu, pusvadītāju mikroshēmu utt. apstrādei, un var atbilst stingrām virsmas precizitātes prasībām šajos laukos.
Augsta stabilitāte: dažādos vides apstākļos (piemēram, temperatūras un mitruma izmaiņas utt.) Poliuretāna pulēšanas paliktnis joprojām var saglabāt tā veiktspējas stabilitāti un nodrošināt pulēšanas efekta konsekvenci.